При получении кремния из трихлорсилана (ТХС) в качестве побочных продуктов образуются четыреххлористый кремний и хлористый водород, что ведёт к снижению выхода кремния. За счет попадания вредных примесей, в результате коррозии стенок реакционной камеры и других частей оборудования, из трихлорсилана получить кремний сверхвысокой степени чистоты невозможно.